掃描電鏡全稱為掃描電子顯微鏡，被廣泛地應用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。大部分的sem掃描電鏡都會配置能譜儀，用來進行成分分析。這里要注意的是能譜不能單獨存在，是依附電鏡而使用，作為一個探測器而存在。

掃描電鏡基本原理

電子束與樣品作用時會產(chǎn)生信號，這些信號*為常見的包括：背散射電子、二次電子、吸收電子、透射電子、特征x射線、俄歇電子那么可以利用這些信號對樣品的性能進行表征。能譜分析是會額外配置一個能譜探測器，利用特征X射線進行成分分析。

電子槍發(fā)射出的高能電子束與樣品物質(zhì)的交互作用，產(chǎn)生了各種信息被相應的接收器接收，經(jīng)放大后送到顯像管的柵極上，調(diào)制顯像管的亮度。經(jīng)過掃描線圈上的電流是與顯像管相應的亮度一一對應。

設備就是這樣采用逐點成像的方法，把樣品表面不同的特征，按順序、成比例地轉(zhuǎn)換為視頻信號，完成一幀圖像，從而使我們在熒光屏上觀察到樣品表面的各種特征圖像。

了解過sem掃描電鏡的工作原理后，接下來就是重要的制樣環(huán)節(jié)啦。大部分人都會忽略制樣的重要性，其實樣品制備的好壞，對測試結(jié)果有很大的影響。

優(yōu)質(zhì)的待測樣品要具備以下特點：電、小、凈、穩(wěn)。

電：導電性好，導電性好的樣品成像效果好，導電性差的樣品需要噴金增強導電性。

小：樣品小導電性會好，且易于抽真空。

凈：保證待測面的新鮮，*好可用酒精擦拭后再測試。

穩(wěn)：沒粘穩(wěn)的話圖像會一直晃動、飄，成像質(zhì)量差。

一般要測的樣品狀態(tài)有：塊狀、薄膜、粉末、液體，常用的導電膠帶是雙面碳膠帶。

塊狀、薄膜：尺寸標準接近10mm*10mm*1mm左右的規(guī)格。

液體：先在樣品臺上粘雙面膠帶，然后粘上干凈的硅片，接著把溶液小心滴在硅片上，自然烘干。

粉末：在樣品臺上粘雙面膠帶，取少量粉末撒在膠帶上，用洗耳球吹去多余的樣品；個別分散性較差的樣品可分散在液體溶液中，重復液體制樣方法

樣品制備好后，導電性好的樣品可直接放入掃描電鏡樣品倉中進行測試，導電性差/不導電的樣品則需要先進行噴金處理再放進樣品倉中抽真空進行測試。

sem掃描電鏡照片是灰度圖像，分為二次電子像和背散射電子像，主要用于表面微觀形貌觀察或者表面元素分布觀察。

一般二次電子圖像主要反映樣品表面微觀形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情況需要對比分析。背散射電子圖像主要反映樣品表面元素分布情況，越亮的區(qū)域，原子序數(shù)越高?？幢砻嫘蚊?，通常亮的區(qū)域高，暗的區(qū)域低。但非常薄的薄膜，背散射電子會造成假像；導電性差時，電子積聚也會造成假像。