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sem掃描電鏡的原理、組成、基本參數(shù)和應(yīng)用的介紹

日期:2022-09-13 10:46:30 瀏覽次數(shù):456

掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時,被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時,也可產(chǎn)生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講,利用電子和物質(zhì)的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息,如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場或磁場等。


掃描電鏡下的花粉.png


sem掃描電鏡機(jī)構(gòu)組成

掃描電鏡由三大部分組成:真空系統(tǒng),電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。


sem掃描電鏡基本參數(shù)

放大率:通過控制掃描區(qū)域的大小來控制放大率的。如果需要更高的放大率,只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以掃描面積得到

場深:掃描電鏡中,位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點都可以得到良好的會焦而成象。這一小層的厚度稱為場深,通常為幾納米厚,所以,sem掃描電鏡可以用于納米級樣品的三維成像。

工作距離:工作距離指從物鏡到樣品高點的垂直距離。

如果增加工作距離,可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場深。  

如果減少工作距離,則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。

通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。


掃描電鏡應(yīng)用

生物:種子、花粉、細(xì)菌等;

醫(yī)學(xué):血球、病毒等;

動物:大腸、絨毛、細(xì)胞、纖維等;

材料:陶瓷、高分子、粉末、環(huán)氧樹脂等;

化學(xué)、物理、地質(zhì)、冶金、礦物 、機(jī)械、電機(jī)及導(dǎo)電性樣品、電子材料等。


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