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SEM掃描電鏡中的光闌是如何清洗的呢?

日期:2023-02-03 09:12:30 瀏覽次數(shù):182

光闌是Z接近電子束和磁透鏡磁場的零件,而且光闌還是之電子槍室和樣品室間Z小的通道。掃描電鏡的真空中的主要污染物碳?xì)浠?,會沉寂在光路零件表面,形成不?dǎo)電層,累計(jì)靜電荷,形成靜電場和雜散磁場,從而影響電磁透鏡磁場的Z對稱性,增加電磁透鏡的象散,尤其物鏡光闌的污染,對性能影響Z。電子束變?yōu)闄E圓,增加了Z小束斑尺寸,降低了電子光學(xué)分辨性能,在掃描作用下,過聚焦和欠聚焦時(shí)表現(xiàn)為圖像向垂直方向拉長。消象散器可以在一定范圍內(nèi),修正光闌污染。污染造成的象散超過修正能力,需要對清除零件表面的污染。

 掃描電鏡.jpg

SEM掃描電鏡的耗材當(dāng)中,除了燈絲以外,光闌是Z貴的耗材。而且我們知道,影響光闌壽命的Z主要原因是灼燒,以及在灼燒過程中由于操作失誤造成的損壞。因此為了更好的維護(hù)掃描電鏡,盡可能的減少SEM掃描電鏡真空污染,是日常工作中要非常注意的事情。同時(shí),在選購掃描電鏡時(shí),選擇渦輪分子泵真空系統(tǒng),也是一種明智選擇。

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