掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn) - 分析行業(yè)新聞
日期:2023-03-04 16:07 瀏覽次數(shù):70
和光學(xué)顯微鏡及透射電鏡相比,掃描電鏡具有以下特點(diǎn):
(一) 能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu),樣品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。
(二) 樣品制備過程簡(jiǎn)單,不用切成薄片。
(三) 樣品可以在樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn),因此,可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察。
(四) 景深大,圖象富有立體感。掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍,比透射電鏡大幾十倍。
(五) 圖象的放大范圍廣,分辨率也比較高 ??煞糯笫畮妆兜綆资f倍,它基本上包括了從放大鏡、光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間,可達(dá)3nm。
(六) 電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。
(七) 在觀察形貌的同時(shí),還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析。
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