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小編給大家介紹下SEM掃描電鏡對測試樣品的要求

日期:2023-09-14 09:00:55 瀏覽次數(shù):79

掃描電鏡并非通過直接觀測來獲得樣品信息,而是通過發(fā)射電子束對樣品進(jìn)行激發(fā),并利用背散射或二次電子探測器對被觀測物體的成分和形貌進(jìn)行分析。要獲得準(zhǔn)確的結(jié)果,測試樣品要符合一定的要求。以下是SEM掃描電鏡對測試樣品的要求:

1、形貌形態(tài),要耐高真空

掃描電鏡是靠電子束掃描物體表面來成像的??諝獾拇嬖跁沟碾娮邮冃停绊憭呙栊Ч?,所以被測樣品比較能耐高真空。

2、樣品表面不能含有有機(jī)油脂類污染物

油污在電子束作用下容易分解成碳?xì)浠?,對真空環(huán)境造成很大污染。樣品表面細(xì)節(jié)被碳?xì)浠衔镎谏w;碳?xì)浠衔锝档土顺上裥盘柈a(chǎn)量;碳?xì)浠衔镂皆陔娮邮饴芬鸷艽笙笊?;碳?xì)浠衔锉晃皆谔綔y器晶體表面,降低探測器效率。對低加速電壓的電子束干擾嚴(yán)重。

掃描電鏡.jpg

3、樣品要是干燥的

水蒸氣會加速電子槍陰極材料的揮發(fā),從而很大降低燈絲壽命;水蒸氣會散射電子束,增加電子束能量分散,從而增加大的色差,降低分辨能力。

4、樣品表面可以導(dǎo)電

樣品表面要可以導(dǎo)電,如果不能導(dǎo)電,則要鍍金以增加導(dǎo)電性。在大多數(shù)情況下,初級電子束電荷數(shù)量都大于背散射電子和二次電子數(shù)量之和,因此多余的電子要導(dǎo)入地下,即樣品表面電位要保持在0電位。如果樣品表面不導(dǎo)電,或者樣品接地線斷裂,那么樣品表面靜電荷存在,使得表面負(fù)電勢不斷增加,出現(xiàn)充電效應(yīng),使圖像畸變,入射電子束減速,此時樣品如同一個電子平面鏡。對不導(dǎo)電的樣品,建議采用離子濺射鍍膜機(jī)噴鍍金屬,這樣可以顯著提高掃描電子顯微鏡所觀察圖像的質(zhì)量。

5、特殊樣品制備的考慮因素

SEM掃描電鏡一般不建議觀測磁性材料,如果一定要觀測此類物質(zhì),則建議對材料首先進(jìn)行退磁。如果要檢測觀察弱反差機(jī)理,就要消除強(qiáng)反差機(jī)理(例如,形貌反差),否則很難檢測到弱的反差。當(dāng)希望背散射電子衍射反差(EBSD),I和II型磁反差或其他弱反差機(jī)理時,磁性材料的磁疇特性必需消除樣品的形貌。采用化學(xué)拋光,電解拋光等,以使樣品產(chǎn)生一個幾乎消除形貌的鏡面。

在測試前,要確保樣品符合上述要求,以獲得準(zhǔn)確的測試結(jié)果。

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