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你知道如何預(yù)防SEM掃描電鏡中的樣品表面電荷積累?

日期:2023-09-20 09:46:44 瀏覽次數(shù):84

掃描電鏡中,樣品表面電荷積累是一個(gè)常見的問題,它可能導(dǎo)致圖像質(zhì)量下降,特別是在非導(dǎo)電或絕緣性材料上。為了預(yù)防或減輕樣品表面電荷積累,可以采取以下措施:

樣品導(dǎo)電性處理: 對(duì)于非導(dǎo)電或絕緣性材料,可以通過將其表面鍍上一薄層導(dǎo)電性材料,如金屬(金、鉑、銀)或碳,來提高導(dǎo)電性。這有助于電子束的導(dǎo)電,并減少電荷積累。

使用導(dǎo)電樣品支撐: 在SEM掃描電鏡分析過程中,您可以將樣品放在導(dǎo)電支撐物上,如導(dǎo)電碳帶或?qū)щ娞茧p面膠。這些支撐物可以幫助樣品導(dǎo)電,同時(shí)也有助于穩(wěn)定樣品的位置。

掃描電鏡.jpg

減小束流強(qiáng)度: 降低電子束的強(qiáng)度可以減少樣品表面電荷的積累。在掃描電鏡儀器上調(diào)整束流強(qiáng)度,以確保不會(huì)在樣品表面產(chǎn)生過多的電荷。

使用低加速電壓: 降低電子束的加速電壓可以減小電子束的穿透深度,從而降低電荷積累的風(fēng)險(xiǎn)。這可能會(huì)導(dǎo)致圖像分辨率降低,所以需要權(quán)衡。

電子束掃描模式: 選擇適當(dāng)?shù)碾娮邮鴴呙枘J?,如低電流、線性模式,以減少電荷積累的速度。

使用防電荷涂層: 一些SEM掃描電鏡儀器提供了防電荷涂層的選項(xiàng),這些涂層可以降低電荷積累的風(fēng)險(xiǎn)。這些涂層在樣品上形成一個(gè)導(dǎo)電性薄層。

樣品旋轉(zhuǎn): 定期旋轉(zhuǎn)樣品,以改變電荷積累的位置。這可以幫助均勻分散電荷。

避免長時(shí)間曝曬: 盡量減少樣品長時(shí)間暴露在電子束下。在不需要時(shí),關(guān)閉電子束。

在真空下存儲(chǔ)樣品: 如果可能,將樣品存儲(chǔ)在掃描電鏡樣品室的真空環(huán)境中,以減少吸附在樣品表面的氣體分子。

樣品前處理: 在分析之前,進(jìn)行樣品的適當(dāng)前處理,如金屬鍍層、碳鍍層或樣品表面的清潔,以減少電荷積累。

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