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如何在SEM掃描電鏡中準(zhǔn)備和處理樣品?

日期:2023-10-23 10:46:32 瀏覽次數(shù):42

在掃描電鏡中準(zhǔn)備和處理樣品是確保獲得高質(zhì)量圖像和準(zhǔn)確數(shù)據(jù)的關(guān)鍵步驟。以下是一般的樣品準(zhǔn)備和處理步驟:

樣品選擇: 首先,您需要選擇適合掃描電鏡觀察的樣品。樣品通常應(yīng)具有導(dǎo)電性或需要導(dǎo)電性涂層,因?yàn)殡娮邮枰c樣品表面相互作用才能產(chǎn)生圖像。

樣品固定: 樣品需要在觀察期間保持固定,以防止運(yùn)動(dòng)或振動(dòng)影響圖像質(zhì)量。樣品可以使用適當(dāng)?shù)膴A具、支架或膠粘劑固定到樣品臺(tái)上。

掃描電鏡.jpg

導(dǎo)電性涂層: 如果樣品本身不導(dǎo)電,您可能需要對(duì)其進(jìn)行導(dǎo)電性涂層。通常使用金屬涂層(如金或鉑)或碳涂層,以確保電子束可以通過(guò)樣品并產(chǎn)生清晰的圖像。

樣品切割和磨削: 如果樣品過(guò)大或太厚,可能需要切割或磨削以獲得所需的形狀和厚度。這通常需要使用適當(dāng)?shù)那懈罟ぞ吆湍ハ髟O(shè)備。

樣品干燥: 樣品在進(jìn)入SEM掃描電鏡之前須保持干燥,以防止水分對(duì)電子束產(chǎn)生干擾。使用氣體流、真空或化學(xué)方法來(lái)去除任何殘留的水分。

金屬涂層: 如果需要,可以將樣品表面涂覆薄薄的金屬層。這有助于提高導(dǎo)電性和圖像質(zhì)量。

安裝樣品: 樣品準(zhǔn)備好后,將其小心地安裝到掃描電鏡樣品臺(tái)上,并確保固定牢固。

真空抽取: SEM掃描電鏡需要在真空環(huán)境中操作,因此須抽取空氣,以確保電子束不會(huì)與氣體分子發(fā)生碰撞。在掃描電鏡中建立所需的真空需要時(shí)間,通常需要一段預(yù)熱時(shí)間。

參數(shù)設(shè)置: 在開(kāi)始圖像采集之前,需要根據(jù)樣品的特性和實(shí)驗(yàn)?zāi)康恼{(diào)整掃描電鏡的參數(shù),包括加速電壓、電流、對(duì)焦和掃描速度。

圖像采集: 一旦樣品準(zhǔn)備和SEM掃描電鏡參數(shù)設(shè)置完成,就可以開(kāi)始采集圖像??梢赃x擇不同的檢測(cè)模式,如二次電子成像或反射電子成像,以獲取不同類型的信息。

數(shù)據(jù)分析: 處理和分析獲得的掃描電鏡圖像和數(shù)據(jù),以滿足您的研究或分析目的。

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