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光學(xué)儀器小知識(shí)之SEM掃描電鏡是什么?如何使用掃描電鏡?

日期:2023-12-18 13:45:38 瀏覽次數(shù):79

掃描電鏡的全稱是掃描電子顯微鏡,它可以用來(lái)觀察被檢測(cè)物體的細(xì)微之處、成像,這一點(diǎn)和顯微鏡有相似之處。SEM掃描電鏡是通過(guò)電子束掃描被檢測(cè)物品的表面進(jìn)而產(chǎn)生被檢測(cè)物品表面的圖像。

掃描電鏡有一個(gè)電子發(fā)射槍,從槍中會(huì)發(fā)射出加速、聚焦過(guò)的電子,在用這些電子來(lái)撞擊樣品。樣品在受到撞擊后會(huì)產(chǎn)生如同水波一般的信號(hào),另一個(gè)接收器會(huì)用來(lái)接收這些信號(hào)。這些信號(hào)有許多不同的種類,不同的信號(hào)有不同的用途,可以對(duì)樣品多個(gè)方面的表現(xiàn)進(jìn)行檢測(cè)。因此,SEM掃描電鏡除了可以成像外,還可以用來(lái)分析樣品的成分形貌,對(duì)樣品的元素進(jìn)行分析。

掃描電鏡.jpg

掃描電鏡的分辨率比顯微鏡的分辨率高得多,能夠?qū)⑽锲贩糯?/span>20萬(wàn)倍。SEM掃描電鏡的視野廣闊,其形成的圖像有很強(qiáng)的立體感,可以觀察到凹凸不平的細(xì)微結(jié)構(gòu)。

目前研制出的掃描電鏡種類有很多,按照結(jié)構(gòu)和用途進(jìn)行劃分的話大概有6種,其中包括常見的典型掃描電鏡、還有掃描透射電鏡、場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡、冷凍掃描電鏡、掃描隧道電鏡、原子力顯微鏡等。

隨著科技的不斷發(fā)展,掃描電鏡的研制技術(shù)也在不斷進(jìn)步,越來(lái)越多的人了解到SEM掃描電鏡,其已經(jīng)從高等級(jí)的研究發(fā)展變成了被廣泛使用的測(cè)試手段,應(yīng)用范圍涉及到各行各業(yè),其中包括生命科學(xué)、材料科學(xué)、食品科學(xué)、化學(xué)、電子學(xué)等學(xué)科,還運(yùn)用到了陶瓷行業(yè)、化工行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)等生產(chǎn)部門。

掃描電鏡功能強(qiáng)大,在使用時(shí)要仔細(xì)按照使用方法操作,要牢記使用注意事項(xiàng):

1、 SEM掃描電鏡的樣本B要很薄,樣品太厚在圖像中會(huì)顯得比較暗,圖像對(duì)比不明顯,成像立體感就不會(huì)很強(qiáng)。

2、 掃描電鏡不顯示圖像時(shí),先要檢查高真空指示燈是否亮,真空正常時(shí)再去判斷顯示和放大電路是否正常,再接著檢查光電倍增管,如果都是正常的,就只需要檢查和鏡筒有關(guān)電路即可。

3、 倍率偏移情況出現(xiàn)時(shí),容易帶來(lái)圖像的不穩(wěn)定,發(fā)生此項(xiàng)故障大都是電氣線路上的問(wèn)題,對(duì)此進(jìn)行排查處理即可。

4、SEM掃描電鏡對(duì)被檢測(cè)樣品的處理要求比較嚴(yán)格:被檢測(cè)樣品一定要有干凈的表面;被檢測(cè)樣品整體B徹底干燥;標(biāo)記物品的標(biāo)記物一定要有形狀以便識(shí)別。

掃描電鏡的使用過(guò)程雖然比較繁瑣,并且在使用過(guò)程中由于使用器件質(zhì)量的差異、環(huán)境的異同等可能會(huì)產(chǎn)生許多故障,但只要按照使用方法進(jìn)行分析,能夠比較快地進(jìn)行處理。


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