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SEM掃描電鏡的制樣方法介紹

日期:2023-12-22 09:03:32 瀏覽次數(shù):60

越來(lái)越多的科研人員用掃描電鏡進(jìn)行三維形貌觀察和分析、微區(qū)的成分分析等等,那么,在掃描電鏡分析過(guò)程中,樣品怎么準(zhǔn)備,怎么制樣是非常重要的環(huán)節(jié),因?yàn)樗鼤?huì)直接影響觀察效果、照片質(zhì)量、設(shè)備的壽命等等,所以今天小編整理了關(guān)于”SEM掃描電鏡樣品要求和制備方法“希望對(duì)大家有幫助。

一、掃描電鏡樣品要求

①樣品不含水分

濕的樣品會(huì)釋放出水蒸氣,往往真空度很難上去,而且水蒸氣遇到高能電子束,會(huì)被電離,還會(huì)增加電子束能量分散,會(huì)使成像模糊分辨率降低;水蒸氣還會(huì)與高溫鎢絲反應(yīng),加速電子槍燈絲揮發(fā),極大的降低了燈絲的壽命;在高真空狀態(tài)下,大部分含水樣品的表面易發(fā)生變形,這會(huì)導(dǎo)致結(jié)果失真。絕大多數(shù)的生物樣品需要經(jīng)過(guò)干燥處理。

②樣品不含揮發(fā)物、污染物樣品中的揮發(fā)物會(huì)造成探測(cè)器、光闌等部件污染。

還有有機(jī)油脂類(lèi)污染物,在電子束的作用下會(huì)容易分解產(chǎn)生碳?xì)浠铮瑫?huì)遮蓋樣品表面的細(xì)節(jié)或吸附在探測(cè)器晶體表面,*終降低成像信號(hào)產(chǎn)量以及探測(cè)器檢測(cè)效率。

③樣品要有導(dǎo)電性

成像原理是通過(guò)探測(cè)器獲得二次電子和背散射電子信號(hào),樣品不導(dǎo)電會(huì)造成表面多余電子或游離粒子的累積進(jìn)而不能及時(shí)導(dǎo)走,到達(dá)一定程度后就會(huì)反復(fù)出現(xiàn)充放電現(xiàn)象,*終影響電子信號(hào)的傳遞,造成圖像扭曲、變形、晃動(dòng)。所以不導(dǎo)電的試樣,其表面一般都需要鍍金(影像觀察)或者鍍碳(成份分析)。

掃描電鏡.jpg

二、SEM掃描電鏡制樣方法

①塊體樣品

塊體樣品應(yīng)該盡量小,一定不能超過(guò)電鏡樣品臺(tái)尺寸,選取的樣品要具有代表性。為了避免取樣過(guò)程樣品被污染而影響結(jié)果分析,一般需要用溶劑先對(duì)樣品進(jìn)行超聲清洗,特別是整個(gè)制樣的過(guò)程都不能用手直接接觸樣品。然后用導(dǎo)電膠把樣品粘結(jié)在樣品臺(tái)上,對(duì)于不導(dǎo)電或者導(dǎo)電性差的樣品,需要進(jìn)行鍍膜處理后再放入掃描電鏡中觀察;而對(duì)于導(dǎo)電樣品,可以直接放入sem掃描電鏡中觀察。如果樣品的底面不平整,我們就需要采用導(dǎo)電銀膠進(jìn)行粘貼,銀膠可以填滿縫隙,更好的保證樣品在抽真空時(shí)保持平穩(wěn)不漂移。

②粉末樣品

先將導(dǎo)電膠帶粘在樣品臺(tái)上,然后將粉末樣品均勻的撒在導(dǎo)電膠上面,隨后用壓縮空氣(或者洗耳球)吹去沒(méi)有黏住的樣品,能很好的防止未被黏住的樣品污染設(shè)備;切記粘樣品時(shí)不能擠壓樣品,主要是避免擠壓過(guò)程對(duì)樣品表面的微觀形貌造成破壞。同樣的,對(duì)于不導(dǎo)電或者導(dǎo)電性差的樣品,需要進(jìn)行鍍膜處理后再放入掃描電鏡中觀察;而對(duì)于導(dǎo)電樣品,可以直接放入sem掃描電鏡中觀察。對(duì)于粉末樣品,一般為了提高測(cè)試效率,一個(gè)樣品臺(tái)上會(huì)同時(shí)制備多個(gè)樣品,但需要保證樣品之間不會(huì)互相污染,位置不被混淆。

③液體樣品

液體樣品制樣時(shí),一般需要借用薄銅片作為載體。首先將導(dǎo)電膠粘在樣品臺(tái)上,然后將干凈的薄銅片粘在導(dǎo)電膠上,采用少量多次的方法把液體樣品滴在銅片上,等待溶劑完全揮發(fā)干燥后就可以進(jìn)行噴鍍處理和掃描電鏡測(cè)試。對(duì)于團(tuán)聚十分嚴(yán)重的粉末樣品,也會(huì)將粉末混合在易揮發(fā)溶劑(如乙醇、超純水、環(huán)己烷等)中配成懸濁液。不過(guò)值得注意的是選擇的溶劑不能對(duì)要觀察的樣品有影響,否則會(huì)改變樣品的初始形貌。

④生物樣品

生物樣品性質(zhì)較為特殊,一般都具有含水量高、質(zhì)地柔軟、導(dǎo)電性差、對(duì)熱和電子束等敏感等特性。所以生物樣品的制樣過(guò)程較為復(fù)雜,主要包括取樣、清洗、固定、脫水、干燥、粘樣、導(dǎo)電處理幾個(gè)步驟。

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